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光学检测仪和激光干涉仪

近红外大口径(600mm)相移平面干涉仪


“近红外大口径相移平面干涉仪”是一台光、机、电、算相结合,融硬、软件于一体的高精度、智能化、多功能、实时处理的大型测试仪器。

光机型干涉仪采用菲索型,光源为可调节近红外激光器。干涉图由近红外CCD接收,在监视器上实时显示,同时输入到图像捕获器转化成8bit的数字干涉图,工计算机处理。

仪器配有下列软件包:(一)相移干涉技术复原波面软件包,(二)Zernike多项式分析软件包,(三)波面分析与评价软件,(四)绘图和列表输出软件包。还配有数字滤波分析(低通、带通、高通)、PSD等特性参数计算、Seidel像差分析功能软件包。


仪器规格参数表:


光源

可调谐半导体激光器λ=1055nm

类型

菲索型干涉仪

倍率

1X2X3X独立变倍,或1X-6X连续变倍

精度

PV优于λ/15(λ=1055nm

测试重复性

1nm1σ)

测试参数

峰谷值PV/标准方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率谱密度PSDZernike多项式系数、Seidel像差系数、点列图、点扩散函数PSF、调制传递函数MTF






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